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EUV光刻机3大中心:2大来自德国,1大来自美国,ASML ...

2023-2-23 12:42| 发布者: 夏梦飞雨| 查看: 125| 评论: 0

摘要: 众所周知,在芯片范畴有一种特别重要,特别受关注,同时中国技术又相对落后的设备,那就是光刻机,芯片制造必不可少的设备之一。特别是EUV光刻机,目前全球仅ASML一家能够制造,很多人称EUV光刻机是人类建造的最复杂 ...

众所周知,在芯片范畴有一种特别重要,特别受关注,同时中国技术又相对落后的设备,那就是光刻机,芯片制造必不可少的设备之一。


特别是EUV光刻机,目前全球仅ASML一家能够制造,很多人称EUV光刻机是人类建造的最复杂的机器之一,所以ASML也被很多人奉上“神坛”,以至还传出“给你全套图纸,你也造不出光刻机”的说法。

EUV光刻机3大中心:2大来自德国,1大来自美国,ASML ...


但要我说,ASML其实也只是一个组装厂,它是整合全球的供给链,最后将什么EUV光刻机组装了出来,你会怎样想?


EUV光刻机的原理是什么?说起来超级简单,就是激光器激起出13.5nm波长的极紫外线,然后经过矫正后构成一束可控的光,再用能量控制器,将这一束光投射到光掩膜台后,再经过物镜投射到曝光台,最后在涂了光刻胶的硅晶圆上蚀刻出电路。

EUV光刻机3大中心:2大来自德国,1大来自美国,ASML ...


一台EUV光刻机有三项中心技术,分别是顶级的光源(激光系统)、高精度的镜头(物镜系统)、精密仪器制造技术(工作台)。


激光系统就是产生极紫外线的系统,这项技术来源于美国企业Cymer,2012年被ASML收购了。


高精度的镜头,也就是将激光中止搜集成束,以及物镜系统,这一块的技术来源德国的蔡司,蔡司拿出了全世界最平表示的元件,那就是散布式布拉格反射器。


第三项中心技术,也就是精密仪器制造技术,也来自于德国,以至连中心一中的整体打包计划都是德国TRUMPF公司提供的。

EUV光刻机3大中心:2大来自德国,1大来自美国,ASML ...


依照媒体的说法,一台EUV光刻机中,超越10万个零件,其中ASML只控制了不到10%的中心技术,另外的90%全靠ASML全球去整合资源,以至需求全球进口。


ASML最大的才干是了解客户需求,整合供给链,最后把光刻机组装出来,这一特质,在当时ASML与台积电协作,全球首造浸润式光刻机时就一定了的。


当时,尼康、佳能是光刻机大哥,ASML只是小厂,台积电提出能够用水做介质,尼康、佳能狂妄自大,以为这是个馊主见,而ASML是小厂,看不到希望,痛快搏一搏,说不定单车变摩托,最后这一搏,搏出来了ASML的未来。

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所以ASML尝到了甜头后,认清了理想,那就是自己最重要的就是看各大晶圆厂需求什么样的东西,然后再全球找供给链,再和客户一同研讨实验,把客户需求的东西组装出来。


而不是自己苦哈哈的埋头做研讨,最后发现这研讨出来的玩意,客户不需求,那才是研发的失败,这是ASML的优点,也是芯片行业的丛林规律,那就是攒局,将各大利集团捆绑在一同,才是中心。



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